नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) उच्च शुद्धता ग्यास
आधारभूत जानकारी
| CAS | ७७८३-५४-२ |
| EC | २३२-००७-१ |
| UN | 2451 |
यो सामग्री के हो?
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) कोठाको तापक्रम र वायुमण्डलीय दबावमा रंगहीन र गन्धहीन ग्यास हो। यसलाई मध्यम दबाबमा तरल गर्न सकिन्छ। NF3 सामान्य अवस्थामा स्थिर छ र सजिलै सड्दैन। यद्यपि, उच्च तापक्रममा वा निश्चित उत्प्रेरकहरूको उपस्थितिमा यो सड्न सक्छ। वायुमण्डलमा छोड्दा NF3 सँग उच्च ग्लोबल वार्मिङ क्षमता (GWP) हुन्छ।
यो सामग्री कहाँ प्रयोग गर्ने?
इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगमा सफाई एजेन्ट: NF3 लाई सेमीकन्डक्टर, प्लाज्मा डिस्प्ले प्यानल (PDPs), र अन्य इलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरूको सतहहरूबाट अवशिष्ट प्रदूषकहरू, जस्तै अक्साइडहरू हटाउनको लागि सफाई एजेन्टको रूपमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यसले प्रभावकारी रूपमा यी सतहहरूलाई क्षति नगरी सफा गर्न सक्छ।
सेमीकन्डक्टर निर्माणमा नक्काशी ग्यास: NF3 अर्धचालकहरूको निर्माण प्रक्रियामा नक्काशी ग्यासको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। यो विशेष गरी सिलिकन डाइअक्साइड (SiO2) र सिलिकन नाइट्राइड (Si3N4) नक्काशीमा प्रभावकारी छ, जुन एकीकृत सर्किटको निर्माणमा प्रयोग हुने सामान्य सामग्री हुन्।
उच्च-शुद्धता फ्लोरिन यौगिकहरूको उत्पादन: NF3 विभिन्न फ्लोरिन युक्त यौगिकहरूको उत्पादनको लागि फ्लोरिनको बहुमूल्य स्रोत हो। यो fluoropolymers, fluorocarbons, र विशेष रसायन को उत्पादन मा एक अग्रदूत को रूप मा प्रयोग गरिन्छ।
फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले निर्माणमा प्लाज्मा उत्पादन: फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले, जस्तै लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले (LCDs) र PDPs को उत्पादनमा प्लाज्मा सिर्जना गर्न NF3 अन्य ग्यासहरूसँग प्रयोग गरिन्छ। प्लाज्मा प्यानल निर्माणको क्रममा डिपोजिसन र इचिंग प्रक्रियाहरूमा आवश्यक हुन्छ।
ध्यान दिनुहोस् कि यो सामग्री/उत्पादनको प्रयोगको लागि विशेष अनुप्रयोगहरू र नियमहरू देश, उद्योग र उद्देश्य अनुसार भिन्न हुन सक्छन्। सधैं सुरक्षा दिशानिर्देशहरू पालना गर्नुहोस् र कुनै पनि अनुप्रयोगमा यो सामग्री/उत्पादन प्रयोग गर्नु अघि एक विशेषज्ञसँग परामर्श गर्नुहोस्।
